文章来源于：中国化工信息周刊公众号
5月26日，日本巨头三井化学宣布，决定退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮（NF3）业务，生产将于2026年3月底停止，销售将于同年内结束。
三井化学表示，关停的原因由于海外产品价格竞争加剧、原材料及公用工程成本上涨、维修等成本上升，该业务盈利极为困难。虽然公司采取了各种合理化和削减成本的措施，但很难确保继续经营所需的利润，因此决定退出该业务。
据了解，三井化学在ICT解决方案事业部的半导体和光学材料部门经营了用于半导体和液晶制造设备清洗气体的NF3业务。
值得一提的是，三井化学在其长期经营计划“VISION 2030”中提出了以业务组合转型为基本战略，致力于成为一家拥有两大支柱：高增长、高利润的全球特种化学品业务，以及以竞争性衍生品为中心的可持续发展的绿色化学品业务的全球性特种化学品公司。退出NF3市场的决定反映了该公司对其与这些总体战略目标的一致性进行认真评估。
三氟化氮：半导体制造
不可替代的 “隐形关键材料”
三氟化氮（NF3），在纯净状态下通常被认为是无色无味气体。在低温时呈现为不透明固体，温度上升到-216.54℃时变为透明，熔点为-206.79℃，沸点为-129.01℃，相对密度1.537（-129℃）。在高温下表现出良好的稳定性，可耐受高达627℃的温度。
通常用熔盐电解法制得，也可直接氟化氨化钠或氨气而获得。采用辉光放电法使氮气和氨气直接作用也能制备三氟化氮。
常被用作半导体制造工艺中的蚀刻气体， 也用作高能燃料中的氧化剂， 还用作氟化剂和作为制备其它氮的氟化物的原料。
另外，高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造领域的清洗工艺，由于其良好的蚀刻速率，并具有选择性的特点，在化学气相沉积（CVD）腔体清洗工艺中得到广泛应用。
电子特气
电子特种气体是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。
电子特种气体广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求，例如纯度标准要求通常是99.999%（5N）甚至更高。电子特种气体生产涉及合成、纯化、分析检测、充装等多项工艺技术，具有较高技术壁垒。
电子特气应用领域及种类
图源：中船特气
尽管在大宗气体及中低端产品方面，我国已经形成了规模优势，但在高端气体尤其是特种气体方面，我国的差距还是比较明显，很多产品几乎都被外资企业所垄断。
集成电路、显示面板、光伏等行业所用电子特种气体数量超过100种，国外主要生产企业包括美国空气化工、德国林德集团（Linde）、法国液化空气、日本大阳日酸等，占有全球90%以上的市场份额。
国内代表厂商有金宏气体、华特气体、南大光电、雅克科技、中船特气等。
雅克科技
江苏雅克科技前身为宜兴雅克化工有限公司，主要聚焦电子材料业务和LNG保温绝热板材业务两大业务，电子材料业务产品涵盖了半导体前驱体材料、光刻胶及光刻胶配套试剂、电子特气、硅微粉和半导体材料输送系统（LDS）等。
其中，特种气体业务主要由子公司成都科美特经营，产品包括六氟化硫和四氟化碳等。
业绩方面，2024年实现营收68.62亿元，同比增长44.84%；净利润8.72亿元，同比增长50.41%。2025年第一季度实现营收21.18亿元，同比增长30.88%；净利润2.6亿元，同比增长5.85%。
金宏气体
金宏气体成立于1999年，为专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型综合气体服务商。既生产超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、高纯氢等特种气体，又供应应用于半导体行业的电子大宗载气，以及应用于其他工业领域的大宗气体和燃气。
业绩方面，金宏气体2024年实现营收25.25亿元，同比增长4.03%；净利润2.01亿元，同比下降36.12%；2025年第一季度实现营收6.23亿元，同比增长5.62%；净利润4400.32万元，同比下降42.47%。
南大光电
南大光电主要业务分为先进前驱体材料、电子特气和光刻胶及配套材料三个板块。
其中，电子特气板块主要包括氢类电子特气产品（包括高纯磷烷、砷烷、安全源等）和含氟电子特气产品（包括三氟化氮、六氟化硫等），产业基地位于安徽滁州、山东淄博和内蒙古乌兰察布。
业绩方面，南大光电2024年实现营收23.52亿元，同比增长38.08%；净利润2.71亿元，同比增长28.15%；2025年一季度营收6.27亿元，同比上升23.2%；净利润为9556万元，同比上升16.4%。
中船特气
中船特气前身起源于中国船舶集团有限公司第七一八研究所于2000年成立的特气工程部，是国内最早开始从事电子特种气体研发和产业化的单位之一。
中船特气拥有国内最大产能的三氟化氮生产基地，截至到2024年末，拥有11000吨/年三氟化氮产能，同时其呼和浩特子公司在建三氟化氮年产能7500吨，建成后该公司三氟化氮产能将居世界第一。
其下游客户包含台积电、美光、海力士、英特尔、英飞凌、格罗方德、中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹集团、华润集团、LGD、京东方、华星光电等集成电路和显示面板知名企业。
此外，中船特气还拥有2000吨/年六氟化钨产能，为国内最大的生产基地。另外，还拥有包括高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯四氟化硅、高纯氘气等无机类气体。
业绩方面，2024年全年营收19.29亿元，同比增长19.33%。其中，电子特种气体营收同比增长14.07%。2025年第一季度实现营收5.16亿元，同比增长17.08%；净利润8667.35万元，同比下降5.52%。
华特气体
华特气体主营业务以特种气体为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务。
其中，该公司电子特种气体产品在电子领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯全氟丁二烯等众多产品的进口替代。
其下游客户包含中芯国际、华润微电子、长江存储、韩国三星、新加坡美光、UMC、台积电等。
业绩方面，2024年全年营收约13.95亿元，同比减少7.02%；净利润约1.85亿元，同比增加7.99%。2025年第一季度营收3.38亿元，同比增长1.57%；净利润4439.65万元，同比下降1.55%。
总结
特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、高端装备制造、医疗健康等国家重点发展的新兴行业的发展而发展起来的，据相关数据显示，预计2025年全球电子特气市场规模将达到60.23亿美元。另外，“十四五”以来，国家出台了一系列政策，将电子特气列为国家重点鼓励发展产业，有力推动了电子特种气体产业的发展。
一审一校：黄杨
二审二校：何玲
三审三校：雷振友
